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日本日立全自動型原子力顯微鏡5500M

日本日立全自動型原子力顯微鏡5500M概述

AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換,激光對中,測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察?分析。

日本日立全自動型原子力顯微鏡5500M特點
1. 自動化功能

  • 高度集成自動化功能追求高效率檢測
  • 降低檢測中的人為操作誤差

4英寸自動馬達臺
4英寸自動馬達臺

自動更換懸臂功能
自動更換懸臂功能

2. 可靠性
排除機械原因造成的誤差

大范圍水平掃描
采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對掃描器圓弧運動所產生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數據。但是,用軟件校正方式不能完全消除掃描器圓弧運動的影響,圖片上經常發生扭曲效果。
AFM5500M搭載了樶新研發的水平掃描器,可實現不受圓弧運動影響的準確測試。

Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate

Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate

高精角度測量
普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器,在豎直伸縮的時候,會發生彎曲(crosstalk)。這是圖像在水平方向產生形貌誤差的直接原因。
AFM5500M中搭載的全新掃描器,在豎直方向上不會發生彎曲(crosstalk) ,可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。

Textured-structure solar battery

Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)

  • * 使用AFM5100N(開環控制)時

3. 融合性
親密融合其他檢測分析方式

通過SEM-AFM的共享坐標樣品臺,可實現在同一視野快速的觀察?分析樣品的表面形貌,結構,成分,物理特性等。

Correlative AFM and SEM Imaging

SEM-AFM在同一視野觀察實例(樣品:石墨烯/SiO2

The ovrlay images createed

The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.

上圖是AFM5500M拍攝的形狀像(AFM像)和電位像(KFM像)分別和SEM圖像疊加的應用數據。

  • 通過分析AFM圖像可以判斷,SEM對比度表征石墨烯層的厚薄。
  • 石墨烯層數不同導致表面電位(功函數)的反差。
  • SEM圖像對比度不同,可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。

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